測量顯微鏡是作為的金相顯微鏡在使用。分為大型工具顯微鏡和小型工作顯微鏡，使用其進行測定，常用的測定方法有四種，分別是直角坐標測定、角度測定、高度測定和孔徑測定。
1、測量顯微鏡大型工具顯微鏡。
它的回轉(zhuǎn)工作臺是采裝配式，亦由密十字形移動臺和觀測顯微鏡制成的，穿透照明設(shè)備是采用離心照明，支柱和工作臺體成型可以左右傾斜，螺紋測定便捷。眼觀測部裝有投影裝置，可從事投影像之觀測。
2、小型工具顯微鏡。
它是由密十字移動工作臺及觀測顯微鏡構(gòu)成的，是屬于小型工具顯微鏡，設(shè)計時是以容易使用為主，所以支柱不會傾斜，照明設(shè)備亦采簡易型，雖然容易但和許多附屬品相連接后，能夠增加各種測定工作。
測量顯微鏡的般測定的方法是什么呢?
1、直角坐標測定：
測定時須使測定物的直角坐標方向和十字形工作臺的移動方向致時方可進行測定。采用直角坐標測定時由十字移動工作臺的移動量可直接讀取直角坐標值，若是大型工具顯微鏡，使用瞄準孔直角坐標測定上的像連接觀測眼即可正確測定，而在進行測定物直角坐標方向和十字移動工作臺之校正時，使用裝設(shè)在大型工具顯微鏡上的裝配式旋轉(zhuǎn)工作臺方便，于小型工具顯微鏡只要旋轉(zhuǎn)臺附件即可。
2、角度測定：
使用旋轉(zhuǎn)工作臺或角度觀測透鏡即可測定。般而言角度觀測透鏡的度較。
3、高度測定：
雖然小型工具顯微鏡無法測定高度，但是若把量銀裝在支柱的上端，然后利用顯微鏡的上下移動量可測定高度了。然而，由于焦點深度，支柱傾度及量銀和光軸間等因素誤差，欲正確測定相當困難。
4、測量顯微鏡孔徑測定：
般是使用角度觀測透鏡測定，但大型工具顯微鏡則可使用重疊影象觀測透鏡或者光學(xué)探測子，是使用重疊影象透鏡，使生成的兩種像重疊，接著在相對的方亦然，于是由移動量即可顯示孔的內(nèi)徑。假若是使用光學(xué)探測器，則先將它裝設(shè)在3倍的對物透鏡上，然后對準探測子和工作臺的移動方向，再調(diào)整觀測鏡內(nèi)之重疊線平行于觀測透鏡的十字線，而使測定子接觸孔穴面。后利用Y軸上的進給校正重疊線的逆向移動，并用X軸進給使重疊線夾住觀測透鏡的十子線，即可讀取X軸上的測定值。相對側(cè)的孔穴亦然，故有讀取的差值再加上探測子的直徑即可獲得孔穴內(nèi)徑。
工具顯微鏡的測量對象是什么呢?
1.測量各種成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀。
2.測量外螺紋(螺紋塞規(guī)、絲桿和蝸桿等)的中徑、小徑、螺距、牙型半角。
3.測量齒輪滾刀的導(dǎo)程、齒形和牙型角。
4.測量電路板、鉆?；蚩装迳系目椎奈恢?，鍵槽的對稱度等形位誤差。